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導電滑環(huán)在單晶爐構(gòu)成方面有什么應用?
發(fā)布日期:2019-02-07 15:16:37
導電滑環(huán)在單晶爐構(gòu)成方面有什么應用?
單晶爐在相對惰性氣體環(huán)境下,用石墨爐熔融多晶硅多晶材料,用提拉法生長無位錯單晶的設(shè)備。有兩種方法來命名單晶爐的類型,一種是進料量,另一種是室直徑。比如85爐,是指主爐筒直徑、120、150等是由承載能力決定的。單晶爐的組成主要包括:
1.升降頭:主要由安裝圓盤減速器、籽腔劃環(huán)電機、磁流體籽晶秤頭、軟風箱、導電滑環(huán)等部件組成。
2.附件室:主要為附件室筒和上下法蘭部件。
3.爐蓋:二副室連接法蘭,板閥,觀察窗真空管組成。
4.爐筒:包括取光孔
5.下爐筒:包括真空管
6.底座:主要是鑄鐵架和底座。
7.坩堝下驅(qū)動裝置:主要由磁流體馬達、坩堝、支撐軸減速器、軟波紋管柱、上下傳動支撐架、導軌等部件組成。
8.分水器已經(jīng)是水路布置:包括分水器、進水管、數(shù)個橡膠管套等。
9.氬管道布置:3根柔性管,3根以上質(zhì)量流量計,不銹鋼管,3個壓力探測器,高密封夾子等。
10.真空泵和真空除塵裝置:油壓真空泵、水環(huán)真空泵、過濾器、真空管、硬波紋管等。
11.電源及電子控制柜:電源柜過濾柜控制柜及連接線。
導電滑環(huán)作為單晶爐的重要組成部分,也起著非常重要的作用。導電滑環(huán)是用于提拉頭信號傳 輸及電源供給的,通過360°的旋轉(zhuǎn)來傳遞電流及信號。所以一旦導電滑環(huán)出現(xiàn)故障,提拉頭信號就無法正常傳輸,就會導致單晶爐無法正常運作。